ในการจัดทำปย.1 นั้น หน่วยงานจะต้องประเมินตนเองโดยใช้แบบประเมินองค์ประกอบภายใน 5 องค์ประกอบ  คือ 1.ด้านสภาพแวดล้อม 2.ด้านการประเมินความเสี่ยง 3.ด้านการควบคุม 4.ด้านสารสนเทศและสิ่งแวดล้อม 5.ด้าานการประเมินผล